IXION 193 SLM是一款單頻全固態(tài)激光系統(tǒng)，應(yīng)用于光學(xué)計(jì)量、193 nm步進(jìn)光學(xué)校準(zhǔn)或高功率ArF準(zhǔn)分子激光器的帶寬控制等領(lǐng)域。小于80 MHz的光譜帶寬接近其理論傅里葉極限。

該系統(tǒng)的中心波長(zhǎng)可定制，范圍在185至194 nm之間，并可在訂購(gòu)時(shí)配置為固定波長(zhǎng)。

該系統(tǒng)還可以集成一臺(tái)絕對(duì)光譜精度為0.001 nm的高精度光譜儀（額外選購(gòu)）。這使得對(duì)激光光譜調(diào)諧的控制具有更大的精度。

產(chǎn)品參數(shù)：

可選附件：

• 圖形用戶(hù)界面
• LabView庫(kù)
• 精密光譜儀
• 中心波長(zhǎng):185 ~ 194 nm
• 符合CDRH的快門(mén)

應(yīng)用領(lǐng)域：

• 光譜儀校準(zhǔn)
• 光刻
• 干涉度量
• 193 nm 計(jì)量
• 準(zhǔn)分子激光器種子源

典型性能：