近期，中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所精密光學(xué)制造與檢測中心魏朝陽研究員團(tuán)隊基于CO2激光的缺陷表征與去除過程，實現(xiàn)了高抗紫外激光損傷熔石英元件制造。相關(guān)研究成果發(fā)表于Light: Advanced Manufacturing。

熔石英元件紫外激光誘導(dǎo)損傷問題嚴(yán)重制約了高功率激光系統(tǒng)的發(fā)展。由于目前接觸式研拋工藝不可避免得存在加工缺陷，且難以被后處理完全去除，大大降低了熔石英元件使用性能和壽命。

圖1 （a）傳統(tǒng)工藝鏈路；（b）CO2激光加工鏈路；（c）三維全口徑亞表面缺陷表征方法

圖2 傳統(tǒng)工藝制備樣品（conventional）與CO2激光加工鏈路制備樣品（laser-based）損傷性能對比：（a）1-on-1損傷概率（355nm，8.3ns）；（b）典型損傷形貌

文章來源：上光所，激光行業(yè)觀察

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