2023年8月20日，超通智能自主研發(fā)的首臺超精密金屬掩膜板（FMM）激光切割修復清潔研磨一體化智能裝備通過初步驗收，成功交付。

隨著現(xiàn)代電子設(shè)備的高速發(fā)展，OLED是目前廣泛應(yīng)用于手機、電視、手表等的一種新型顯示技術(shù)。FMM（Fine Metal Mask高精度金屬掩模板）是OLED蒸鍍工藝中的核心零部件，是用來制作R、G和B分色至關(guān)重要的核心耗材，之前，F(xiàn)MM生產(chǎn)制造過程中關(guān)鍵的激光加工工序所需的激光切割、修復、清潔、研磨設(shè)備主要被韓國日本等海外制造廠商壟斷。

超通智能在FMM設(shè)備的研發(fā)中，不斷創(chuàng)新突破，自主研發(fā)設(shè)計了飛秒激光整形光路、超精細三維修補頭、激光/機械研磨加工頭等多個核心部件，結(jié)合自研的加工控制軟件實現(xiàn)了極致加工精度和質(zhì)量，F(xiàn)MM像素點小開口加工精度<1um，taper角加工精度<±1°，開發(fā)了諸多創(chuàng)新型功能，相比韓國進口設(shè)備加工效率15%以上，開發(fā)出快速建模及工藝驗證方法，幫助客戶大大減少加工文檔制作及工藝驗證周期。

超通智能超精密金屬掩膜板（FMM）激光切割修復清潔研磨一體化智能裝備整體設(shè)置4個功能模塊：

激光切割

利用超快激光切割FMM兩端夾爪區(qū)（U形區(qū)），自動上下料對位切割，熱影響區(qū)寬度小于20um。

激光修復

通過自主研發(fā)的超快激光光路及三維加工頭，實現(xiàn)開口蝕刻不良、孔洞異形、R角缺陷等形狀缺陷修復，最小開孔尺寸10um，最小R角1um，小開口加工/修復精度<1um，taper角加工/修復精度<±1°。

激光清潔

通過激光清潔工藝及相應(yīng)加工頭實現(xiàn)光阻殘留、藥劑殘留、異物、膠狀異物、透明異物、纖維類等異物清潔。

激光/機械研磨

集成在線測高系統(tǒng)，可實現(xiàn)2nm測高分辨率，100um高度測量范圍。在線測量凸點位置和高度，通過激光研磨工藝或研磨帶研磨方式去除凸點。

文章來源：超通智能，激光行業(yè)觀察

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