龍門架是一種機械結(jié)構類型，它將兩個物理軸耦合在一起，并使其在同一方向上運動。其廣泛應用于激光微加工、平板顯示器制造、PCB 板印刷、點膠和打孔、 晶圓檢驗計量、薄膜測量、激光直寫、晶圓級封裝以及 Micro-LED 巨量轉(zhuǎn)移等領 域。本文介紹了 AEROTECH 公司 AUTOMATION1 控制器的龍門解耦和電流命 令耦合控制原理，展示其在控制氣浮剛性龍門平臺時的靜態(tài)位置抖動和動態(tài)性能 等指示，并介紹如何利用 AEROTECH 公司 AUTOMATION 1 Studio 的調(diào)諧工 具來測量和優(yōu)化軸的頻率響應，增強位置跟蹤控制算法（ETC）如何提運動系統(tǒng)在動態(tài)跟隨誤差以及移動 & 穩(wěn)態(tài)時間等方面的性能。