華日激光的Femto-500-THG系列三波段飛秒光纖激光器產(chǎn)品，結(jié)合了高效飛秒光纖激光器和自動諧波發(fā)生器，可提供三種不同波長的超快飛秒激光輸出。其中紅外飛秒光纖激光器部分，融合國家十三五重點(diǎn)研發(fā)計劃專項的研發(fā)成果Femto-200，以及最新自主研發(fā)成果升級的高性能穩(wěn)定可靠的最大單脈沖能量達(dá)500 μJ的超快光纖放大模塊。 

該激光器采用最新的光、電一體化緊湊設(shè)計，實(shí)現(xiàn)功率、頻率和脈沖寬度可調(diào)，支持<300 fs到10 ps連續(xù)可調(diào)或自選切換，最小脈寬 <250 fs，主脈沖能量比大于90%，最大峰值功率大于2 GW，光束質(zhì)量M2<1.3。一體化設(shè)計的自動諧波發(fā)生器能夠?qū)崿F(xiàn)多波長同時輸出，即實(shí)現(xiàn)基礎(chǔ)頻率（1035 nm），二次諧波（517 nm），三次諧波（345 nm）的混合輸出，具備高轉(zhuǎn)換效率、長壽命及轉(zhuǎn)換后光束質(zhì)量好等特點(diǎn)。

由于該產(chǎn)品具有體積緊湊、高重頻、高單脈沖能量且飛秒脈沖質(zhì)量好的特點(diǎn)，尤其適合作為高次諧波的泵浦源，可用于桌面級EUV光源系統(tǒng)的搭建，并廣泛應(yīng)用于新型復(fù)合航空航天材料包括碳纖維材料的加工與處理、半導(dǎo)體晶圓加工、陶瓷與聚合物加工、新能源材料加工等領(lǐng)域。

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