相干公司的新型UVtransfer是一個(gè)集成式激光系統(tǒng),用于執(zhí)行MicroLED制造中的三道重要工藝-激光剝離(LLO)、巨量轉(zhuǎn)移 (LIFT) 和激光修復(fù)。 UVtransfer可支持研發(fā)及試驗(yàn)線生產(chǎn),該系統(tǒng)基于高能量準(zhǔn)分子激光技術(shù),此技術(shù)同樣使用于LTPS顯示背板的退火工藝,并在大規(guī)模量產(chǎn)中得到長(zhǎng)期驗(yàn)證。 MicroLED(μLED)帶來(lái)令人興奮的機(jī)遇,有望降低超大顯示屏以及部分小型顯示屏應(yīng)用的成本。到目前為止,使用μLED組裝大型顯示屏仍面臨一些挑戰(zhàn)。這是因?yàn),?shù)量極大的小尺寸有源裸芯片都必須從生長(zhǎng)晶圓精確轉(zhuǎn)移到最終的玻璃基板。 為提高工藝效率并降低裸芯片成本,生長(zhǎng)晶圓上裸芯片之間的間距和間隔極小,這些加劇了挑戰(zhàn)。裸芯片尺寸預(yù)計(jì)將來(lái)還會(huì)進(jìn)一步縮減 – 從50µm降至5µm。因此,批量制造工藝必須具備可擴(kuò)展性以適應(yīng)這樣的更小尺寸。
UVtransfer是目前少有能夠處理三個(gè)關(guān)鍵生產(chǎn)步驟的可用系統(tǒng)。因?yàn)樗谙喔晒緩?qiáng)大的準(zhǔn)分子激光技術(shù),它的每次脈沖可以覆蓋大到16mm*2mm的區(qū)域,從而實(shí)現(xiàn)大規(guī)模并行設(shè)備處理。要為大型顯示屏轉(zhuǎn)移數(shù)以億計(jì)的顯示裸芯片,并讓這些顯示屏實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)效益,這一點(diǎn)至關(guān)重要。 此外,UVtransfer系統(tǒng)完全順應(yīng)裸芯片尺寸變小這一必然趨勢(shì),消除了新制造技術(shù)經(jīng)常遇到的投資風(fēng)險(xiǎn)。 (文章轉(zhuǎn)載自網(wǎng)絡(luò),如有侵權(quán),請(qǐng)聯(lián)系刪除)
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