三菱重工的ABLASER-DUV深紫外（DUV）激光系統(tǒng)，使用短脈沖DUV激光器，提供更小的焦斑直徑（10μm），同時保持長焦深，可用于高精度微加工和鉆孔應(yīng)用。

其主要特性包括短脈沖振蕩器用于激光的快速激發(fā)，使用與公司其他ABLASER產(chǎn)品相同的光學(xué)頭，以及高精度透鏡和棱鏡，用于隨意折射和旋轉(zhuǎn)激光束。由于DUV激光器的光子能量大，它能加工之前難以處理的諸如玻璃、化合物半導(dǎo)體等材料。

三菱重工，www.mhi-machinetool.com/en