具有高分辨率、直線度和重復(fù)性的新型 QNP-XY 平臺可提供更高的產(chǎn)能

Aerotech (www.aerotech.com) 現(xiàn)已推出一個新系列的 XY 壓電納米定位器，用于精度要求 極高的場合。據(jù)該公司報告稱，QNP-XY 平臺以與其它類似的尺寸和行程范圍的定位器相比 具有最高的諧振頻率和剛度，使用戶能夠在嚴格的加工過程中實現(xiàn)更高的產(chǎn)能。

該平臺具有 0.15 nm 的分辨率，0.007% 的直線度和 2 nm 的重復(fù)，能夠滿足從顯微鏡到光學(xué)對準等最嚴苛的應(yīng)用需求。其行程范圍從 100 µm 到 600 µm。

QNP 壓電平臺由無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向，用有限元分析法進行優(yōu)化來實現(xiàn)快 速閉合環(huán)路響應(yīng)。這種集成式 XY 組合平臺使整體高度和運動質(zhì)量都達 到最小，因而具有優(yōu)異的靜態(tài)和動態(tài)多軸性能。

如果與 Aerotech 的 Q 系列控制器和驅(qū)動器一起使用，該平臺可具有亞納 米級定位精度和定位穩(wěn)定度及高定位帶寬，無論是否帶有電容感測器反饋都具備上述性能，并且具有眾多軟件選項。

Aerotech 是領(lǐng)先全球的定位和運動控制產(chǎn)品供應(yīng)商，其服務(wù)對象包括工業(yè)、 政府、科研和研究機構(gòu)。其產(chǎn)品為那些對于高定位精度、高產(chǎn)能運動控制解決方案有著苛刻要求的應(yīng)用場合提升了顯著的性能指標(biāo)。

應(yīng)用包括：

l  測試與檢測

l  工業(yè)與科研

l  實驗室

l  納米技術(shù)

l  顯微鏡

l  半導(dǎo)體

l  微電子

l  光學(xué)

l  光電

l  數(shù)據(jù)存儲

l  精密機械

l  金屬

l  生命科學(xué)

l  醫(yī)療器械