相干公司新型工業(yè)皮秒激光器是 100 W 級別激光器系統(tǒng)中首款提供按需脈沖和Burst模式操作的激光器。Hyper Rapid 100 Coherent 廣受認可且經(jīng)過驗證的超快技術(shù)擴展至更高脈沖能量,使一系列新型工藝成為可能,特別是脆性材料機加工,比如陶瓷、藍寶石和玻璃。此外,該款新型激光器比之前系統(tǒng)具有更低的成本功率比,因此支持之前在經(jīng)濟上不具可行性的應(yīng)用。 Hyper Rapid 100 是鎖模固態(tài)激光器,整合多級放大器,可在 1064 nm 產(chǎn)生平均 100 W 功率,重復(fù)率范圍為 400 kHz 至 1 MHz(配備快速動作光閘時功率為 90 W),或在 532 nm 時產(chǎn)生 65 W 功率(配備快速動作光閘時功率為 60 W)。由于輸出模式質(zhì)量高 (M2<1.4) 且脈沖寬度較短 (<15 ps),聚焦激光光斑能夠達到較高強度,其中大部分材料通過非線性工藝去除。該結(jié)果實現(xiàn)切割微加工,幾乎無熱影響區(qū)域,同時還適用于各種類型的材料,甚至包括對可見光和紅外幾乎透明的材料。
Hyper Rapid 100 主要針對半導(dǎo)體制造、顯示器制造和太陽能電池生產(chǎn)中的高精度加工任務(wù)。典型示例包括玻璃鉆孔、強化玻璃切割、藍寶石切割和 TCO 架構(gòu)。
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