30W納秒紫外激光器

Marble UV-30

產(chǎn)品背景

隨著激光精細(xì)微加工技術(shù)在高精尖元器件制造領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，工業(yè)產(chǎn)品向微型化、精密化、高性能化方向發(fā)展，半導(dǎo)體、消費(fèi)電子、生物醫(yī)學(xué)等尖端科技領(lǐng)域?qū)τ诩す饧庸ぞ�度、加工效率、熱影響區(qū)域控制等方面提出了更高要求。

在此背景下，貝林激光推出新品30W納秒紫外激光器（Marble UV-30）。新款采用先進(jìn)的諧振腔設(shè)計(jì)及腔內(nèi)熱補(bǔ)償技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的紫外激光輸出。此外，其高精度、高效率、高穩(wěn)定、高靈活的“四高”特點(diǎn)，使其成為微納加工領(lǐng)域的又一利器，助力優(yōu)化激光精準(zhǔn)加工方案。

PART 01 - 產(chǎn)品優(yōu)勢

高精度加工

• 優(yōu)秀的光束質(zhì)量

Marble UV-30的光束質(zhì)量M2<1.3，確保加工過程的高精度。

頻率60kHz，在距出光口300mm位置實(shí)測光斑圓度為98.73%。

在精密加工時(shí)，如微電子、半導(dǎo)體等領(lǐng)域，可獲得更為準(zhǔn)確和精細(xì)的切割、打孔或蝕刻效果。

• 短脈沖寬度

激光脈沖寬度小于25ns@60kHz，激光能量在短時(shí)間內(nèi)集中，實(shí)現(xiàn)高精度微加工。

頻率60kHz，實(shí)測輸出脈沖寬度為12.51 ns。

高效率加工

• 高功率輸出

Marble UV-30具備高達(dá)30W@60kHz的輸出功率，為各種加工應(yīng)用提供穩(wěn)定高效的激光能量，縮短加工過程，顯著提高生產(chǎn)效率。

輸出功率及脈寬隨著頻率變化的表現(xiàn)

• 高效能量轉(zhuǎn)換

Marble UV-30采用高效的諧波轉(zhuǎn)換技術(shù)，提高了激光能量的轉(zhuǎn)換效率，降低能耗和運(yùn)營成本。

高穩(wěn)定性

• 先進(jìn)的諧振腔設(shè)計(jì)和腔內(nèi)熱補(bǔ)償技術(shù)

使得Marble UV-30在高功率運(yùn)轉(zhuǎn)下依然能夠保持穩(wěn)定輸出，保證加工過程的連續(xù)性和一致性。

24h功率穩(wěn)定性測試，頻率60kHz，實(shí)測功率波動(dòng)RMS小于0.5%。

• 三倍頻晶體支持換點(diǎn)

獨(dú)特的倍頻及和頻模塊，配合特殊的晶體保護(hù)措施，同時(shí)三倍頻晶體支持換點(diǎn)功能，顯著延長晶體使用壽命，降低用戶維護(hù)成本。

高靈活性

• 多種控制方式

Marble UV-30支持RS232控制、外部GATE和TRIGGER控制等多種控制方式，為用戶提供了靈活的操作選擇。

• 直觀的操作界面

操作界面直觀易懂，用戶可以輕松上手，快速掌握設(shè)備的操作方法。

PART 02 - 技術(shù)參數(shù)

PART 03 - 應(yīng)用案例

激光技術(shù)的發(fā)展歷程是一個(gè)不斷追求更高精度、更高效率和更廣應(yīng)用范圍的過程。貝林激光在超快激光技術(shù)領(lǐng)域?qū)⒊掷m(xù)創(chuàng)新和突破，積極推動(dòng)加工產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)。

文章來源：貝林激光

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