薄片激光器以其極佳的光束質(zhì)量和高效的光-光轉(zhuǎn)換效率在工業(yè)制造業(yè)和基礎(chǔ)科學(xué)研究等領(lǐng)域得到了日益廣泛的應(yīng)用。尤其是薄片超快激光技術(shù)證明是實現(xiàn)大脈沖能量、超短脈寬、高平均功率的最佳方案，也被譽為激光工業(yè)”皇冠上的明珠”，對于高端制造業(yè)、極紫外光產(chǎn)生、阿秒科學(xué)等具有重要意義。

長期以來，德國通快公司獨家引領(lǐng)薄片激光器的研究及產(chǎn)品化，取得了巨大的商業(yè)成功。近4年來，深圳技術(shù)大學(xué)阮雙琛教授牽頭的國家重點研發(fā)計劃“新型顯示與戰(zhàn)略性電子材料”重點專項支持下，項目團隊聯(lián)合聯(lián)合中國工程物理研究院上海激光等離子體研究所、江蘇師范大學(xué)、大族激光、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、江蘇第三代半導(dǎo)體研究院等單位進行技術(shù)攻關(guān)，攻克了薄片晶體精密加工、晶體熱沉系統(tǒng)設(shè)計和封裝、48沖程泵浦系統(tǒng)、高穩(wěn)定再生放大諧振腔和多通道放大等關(guān)鍵核心技術(shù)，在國內(nèi)率先實現(xiàn)了直徑>20mm Yb:YAG薄片晶體封裝，研制了千瓦級48沖程泵浦系統(tǒng)，課題組在2024年2月，實現(xiàn)了國內(nèi)千瓦級超快薄片激光器的重大突破：脈沖輸出最大平均功率1.075kW,脈沖寬度7ps，重復(fù)頻率500-800kHz可調(diào)，最大脈沖能量2.1mJ，光束質(zhì)量M2<1.5，光斑橢圓度0.96, 為我國阿秒光源、極紫外光刻、新能源汽車、3C電子與芯片加工、航空航天等高端制造業(yè)，提供先進激光光源。

文章來源：深圳技術(shù)大學(xué)

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