近日，上海復(fù)享光學(xué)股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“復(fù)享光學(xué)”）完成超億元C輪融資，此次融資由深創(chuàng)投和渾璞投資聯(lián)合領(lǐng)投。本輪融資將助力公司加速產(chǎn)品創(chuàng)新進(jìn)程，增強(qiáng)研發(fā)服務(wù)能力，在科研創(chuàng)新、先進(jìn)制造和光子集成等廣泛領(lǐng)域構(gòu)建起更為深度的應(yīng)用解決方案。

自成立以來，復(fù)享光學(xué)持續(xù)關(guān)注光子技術(shù)前沿，積極探索光譜技術(shù)的應(yīng)用場(chǎng)景：第一個(gè)國(guó)產(chǎn)化全譜段光纖光譜儀，首創(chuàng)動(dòng)量空間光譜分析技術(shù)，率先提出模塊化顯微共焦拉曼光譜系統(tǒng)構(gòu)型，開辟角分辨光譜儀和相位反演光場(chǎng)檢測(cè)產(chǎn)品的新品類。

2023年，在頭部晶圓廠和半導(dǎo)體設(shè)備廠的鼎力支持下，復(fù)享光學(xué)基于在微納光子學(xué)量檢測(cè)領(lǐng)域超過十年的經(jīng)驗(yàn)積累，聚力完成了ZURO-ND新產(chǎn)品的迭代，在原有基礎(chǔ)上提高了近10倍的檢出限。這使得我們可以有效地監(jiān)控高深寬比、低開口率等刻蝕場(chǎng)景下的極弱元素特征光譜線。通過與國(guó)外標(biāo)桿產(chǎn)品的測(cè)試比較，客戶一致認(rèn)為復(fù)享光學(xué)的終點(diǎn)檢測(cè)方案能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)國(guó)外同類產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)替代，在個(gè)別參數(shù)上實(shí)現(xiàn)超越。

此外，復(fù)享光學(xué)考慮中國(guó)用戶的實(shí)際需求，升級(jí)了ideaEPD軟件架構(gòu)，使系統(tǒng)具備更智能的終點(diǎn)判斷算法、更強(qiáng)大的配置文件、更豐富的歷史數(shù)據(jù)分析功能和更便捷的操作體驗(yàn)。這些改進(jìn)使得我們能夠滿足終端客戶多種多樣的使用需求。

目前，復(fù)享光學(xué)已經(jīng)為多家半導(dǎo)體頭部客戶提供了優(yōu)質(zhì)服務(wù)，截止到今年7月，完成了50000片以上的wafer數(shù)據(jù)驗(yàn)證。面向真實(shí)產(chǎn)業(yè)需求，復(fù)享光學(xué)有能力為設(shè)備客戶提供達(dá)到全球領(lǐng)先水平的EPD解決方案。

更為重要的是，通過結(jié)合多維光場(chǎng)的感知與關(guān)鍵物質(zhì)特性的計(jì)算重構(gòu)，再融合先進(jìn)的深度學(xué)習(xí)技術(shù)，復(fù)享光學(xué)構(gòu)建起AI時(shí)代的全面深度光譜分析框架，為諸多先進(jìn)制造應(yīng)用場(chǎng)景提供了強(qiáng)勁的光學(xué)分析引擎。目前公司年產(chǎn)值超億元，擁有一支博士占比達(dá)25%的逾百人的技術(shù)團(tuán)隊(duì)。

文章來源：中科創(chuàng)星

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