度亙核芯成功開(kāi)發(fā)用于車載激光雷達(dá)的940nm耐高溫半導(dǎo)體激光芯片和光纖耦合泵浦模塊，并通過(guò)了嚴(yán)格的性能與可靠性測(cè)試，正式推出具有小體積、高抗反、耐高溫、耐低溫等優(yōu)點(diǎn)的符合車規(guī)要求的940nm光纖耦合泵浦模塊。

圖1：用于車載激光雷達(dá)的高性能940nm光纖耦合泵浦模塊

應(yīng)用與背景

在車載激光雷達(dá)工作波長(zhǎng)的選擇方面，相對(duì)于905nm等波長(zhǎng)，1550 nm波長(zhǎng)的人眼安全閾值更高，可以發(fā)射更高的激光功率以達(dá)到更高的測(cè)距靈敏度；并且該波長(zhǎng)遠(yuǎn)離太陽(yáng)紅外背景光，因此具有高的抗干擾能力，能夠?qū)崿F(xiàn)更遠(yuǎn)距離的傳感探測(cè)。1550 nm的光纖激光器作為激光雷達(dá)光源已逐漸成為無(wú)人駕駛、車輛安全預(yù)警、測(cè)距、測(cè)風(fēng)等激光雷達(dá)的重要技術(shù)方案之一，是目前激光雷達(dá)領(lǐng)域的技術(shù)熱點(diǎn)。

目前，940nm光纖耦合模塊泵浦1550nm光纖激光器的方案是實(shí)現(xiàn)1550nm激光雷達(dá)應(yīng)用的主要技術(shù)途徑，能夠充分滿足激光雷達(dá)對(duì)高峰值功率、短脈沖、高光束質(zhì)量的要求。

技術(shù)難點(diǎn)

 芯片的極高溫度工作要求：

對(duì)940nm半導(dǎo)體激光芯片要求有極好的溫度特性，能夠?qū)崿F(xiàn)≥105℃高溫環(huán)境下的高功率穩(wěn)定可靠工作；

車規(guī)級(jí)可靠性：

滿足車規(guī)對(duì)感知元件的性能和安全要求，對(duì)產(chǎn)品的設(shè)計(jì)和工藝具有極高的要求；

 嚴(yán)苛的環(huán)境適應(yīng)性：

由于車載環(huán)境的復(fù)雜性，產(chǎn)品需在苛刻的震動(dòng)沖擊、高低溫環(huán)境下實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定工作。

開(kāi)發(fā)成果

基于度亙核芯全鏈條的芯片研發(fā)與生產(chǎn)平臺(tái)，圍繞性能及可靠性難點(diǎn)問(wèn)題進(jìn)行攻關(guān)，成功開(kāi)發(fā)了高性能940nm半導(dǎo)體激光芯片。并且針對(duì)車規(guī)級(jí)應(yīng)用需求，進(jìn)行了光纖耦合模塊的設(shè)計(jì)優(yōu)化，25℃下，12A輸出功率大于12W，10W功率下耦合模塊的電光轉(zhuǎn)換效率高達(dá)60%，在極高溫度105℃環(huán)境條件下，仍然可以穩(wěn)定實(shí)現(xiàn)高于7W的功率輸出。

圖2：940nm光纖耦合泵浦模塊的典型光電特性曲線（25℃ & 105℃）

在可靠性方面，該激光泵浦模塊經(jīng)過(guò)了20G加速度、20-2000HZ頻率的機(jī)械振動(dòng)測(cè)試，同時(shí)經(jīng)過(guò)了500G加速度的機(jī)械沖擊測(cè)試，測(cè)試之后模塊無(wú)松動(dòng)變形等現(xiàn)象，并且振動(dòng)沖擊前后工作電流 Iop變化均值僅為1.2%，完全滿足應(yīng)用的可靠性需求。

在環(huán)境適應(yīng)性方面，該泵浦模塊具有良好的耐高溫、耐低溫特性。在-40℃到110℃的500次高低溫循環(huán)測(cè)試中，工作電流 Iop變化率均值為-0.2%。模塊在極端溫度-60℃及105℃溫度下測(cè)試的波長(zhǎng)分別為915.3nm、972.6nm，完全處于1550nm激光雷達(dá)系統(tǒng)的有源光纖離子吸收窗口內(nèi)，可確保激光雷達(dá)系統(tǒng)在大溫度范圍的苛刻環(huán)境下的正常工作，具有極強(qiáng)的溫度適用性。

圖3：不同溫度下（-60°C、25°C、105°C）光纖耦合模塊光譜測(cè)試曲線

針對(duì)車規(guī)級(jí)1550nm激光雷達(dá)應(yīng)用的940nm泵浦模塊需求，度亙核芯自主開(kāi)發(fā)了高性能及高可靠性的940nm半導(dǎo)體激光芯片及光纖耦合模塊。25℃，12A下模塊輸出功率高于12W，105℃環(huán)境溫度下，模塊輸出功率高于7W，產(chǎn)品各項(xiàng)指標(biāo)滿足車規(guī)級(jí)應(yīng)用要求。此外，度亙核芯在工藝過(guò)程控制、可靠性驗(yàn)證等環(huán)節(jié)建立了完善的質(zhì)量管理體系，具備車規(guī)級(jí)940nm泵浦模塊的批量生產(chǎn)和供貨能力。

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