引言

在半導(dǎo)體芯片制造的復(fù)雜流程里，晶圓裂片堪稱關(guān)鍵一環(huán)。晶圓裂片主要指將單個(gè)集成電路（IC）或芯片在不損壞嵌入其中的精細(xì)結(jié)構(gòu)和電路的情況下，從半導(dǎo)體晶圓中精確分離出來，用于隨后的芯片鍵合。

隨著技術(shù)持續(xù)革新，高性能、小型化電子器件需求猛增，晶圓裂片的重要性愈發(fā)凸顯。而傳統(tǒng)的機(jī)械切割技術(shù)存在效率低、損傷嚴(yán)重等問題，難以滿足實(shí)際需求。有效的晶圓切割過程必須將損壞的風(fēng)險(xiǎn)降至最低，同時(shí)確保分離出來的芯片結(jié)構(gòu)完整性、性能良好，這也直接影響到包含這些芯片的電子器件整體性能。

切割過程的精度和準(zhǔn)確性不容有失，需確保每個(gè)芯片按照設(shè)計(jì)規(guī)格分離，尺寸偏差與對(duì)準(zhǔn)誤差越小越好。這種精度要求，對(duì)于在最終設(shè)備中實(shí)現(xiàn)最佳電氣性能、熱管理和機(jī)械穩(wěn)定性起著決定性作用。

01 UW晶圓裂片機(jī)

設(shè)備介紹

聯(lián)贏激光旗下子公司——江蘇聯(lián)贏半導(dǎo)體技術(shù)有限公司自主研發(fā)的晶圓裂片機(jī)，利用劈刀和受臺(tái)在擊錘的物理作用下，使經(jīng)過切割工藝加工過的晶圓產(chǎn)品沿著切割道裂開，進(jìn)而拆分成單個(gè)晶粒。

應(yīng)用范圍

該設(shè)備適用于切割加工后多種材質(zhì)晶圓（如氮化鎵、藍(lán)寶石、Si 及Sic 等）的分裂，也用于其他脆性半切產(chǎn)品（如玻璃、陶瓷、金屬、磷化銦等）的斷裂分裂，加工產(chǎn)品的質(zhì)量精度達(dá)到微米級(jí)。

02 UW晶圓裂片機(jī)技術(shù)優(yōu)勢(shì)

設(shè)備優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)

該設(shè)備在技術(shù)與功能設(shè)計(jì)上展現(xiàn)出卓越特性：

• 配置精密調(diào)節(jié)對(duì)位機(jī)構(gòu)與高精度、高直線度的劈刀受臺(tái)

確保了在裂片過程中對(duì)晶圓的穩(wěn)定支撐，使劈裂時(shí)對(duì)產(chǎn)品的作用力均勻分布，提高劈裂效果的一致性，大幅降低裂片不良率。

• 可靠的視覺定位系統(tǒng)

廣角相機(jī)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行輪廓識(shí)別，無需區(qū)分完整晶片和破損晶片，提高加工兼容性及節(jié)省作業(yè)時(shí)間，高精度定位相機(jī)能夠快速、精準(zhǔn)地識(shí)別定位晶圓上的切割道，極大提高了裂片的準(zhǔn)確性與一致性。

• 高效的自動(dòng)化信息化加工系統(tǒng)

設(shè)備從晶圓提籃自動(dòng)取放晶圓，對(duì)產(chǎn)品掃碼并進(jìn)行產(chǎn)品裂片參數(shù)調(diào)檔，然后按照調(diào)取的產(chǎn)品配方參數(shù)進(jìn)行加工；加工系統(tǒng)具有保存產(chǎn)品生產(chǎn)記錄及產(chǎn)品配方的功能，使生產(chǎn)流程更加簡(jiǎn)潔高效。

• 多種劈裂加工模式及加工參數(shù)補(bǔ)償設(shè)置

涵蓋自動(dòng)劈裂（順劈、逆劈、邊緣劈裂、中間劈裂、跳劈）以及手動(dòng)劈裂、參數(shù)補(bǔ)償、擊錘力度調(diào)整及手動(dòng)補(bǔ)劈等功能，同時(shí)根據(jù)產(chǎn)品加工工藝要求不同，可進(jìn)行正劈與反劈操作，提升設(shè)備的適用性與靈活性。

• 廣泛的晶圓尺寸兼容性

通過便捷的方式更換劈刀受臺(tái)等配置，可應(yīng)對(duì)2寸、4寸和6寸產(chǎn)品的加工，為企業(yè)的多樣化生產(chǎn)提供有力支持。

• 劈刀及擊錘的智能化壽命檢測(cè)

設(shè)備具有劈刀磨損檢測(cè)及擊錘壽命檢測(cè)功能，可在生產(chǎn)前檢測(cè)劈刀磨損狀況及擊錘異常狀態(tài)，及時(shí)報(bào)警提示更換異常的劈刀及擊錘，保證產(chǎn)品生產(chǎn)加工的良品率。

案例展示

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向精密化制造的新階段，UW晶圓裂片機(jī)通過不斷地技術(shù)革新，大幅提升裂片效率，在提升裂片精度的同時(shí)，降低了傳統(tǒng)工藝中的微裂紋風(fēng)險(xiǎn)，為芯片良率提升提供了可靠保障，可以幫助企業(yè)在技術(shù)迭代中始終保持成本優(yōu)勢(shì)。

當(dāng)前，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局在加速重構(gòu)，聯(lián)贏激光歷經(jīng)二十年市場(chǎng)深耕，在半導(dǎo)體領(lǐng)域不斷將自身技術(shù)長(zhǎng)板轉(zhuǎn)化為客戶市場(chǎng)的護(hù)城河，用穩(wěn)定如一的設(shè)備性能和可驗(yàn)證的加工效果，持續(xù)為行業(yè)創(chuàng)造著超越設(shè)備本身價(jià)值的產(chǎn)業(yè)動(dòng)能，讓每一微米的進(jìn)步都可以轉(zhuǎn)化為客戶真實(shí)的競(jìng)爭(zhēng)力，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)不斷向著更精密、更高效的方向大步邁進(jìn)。

來源：聯(lián)贏激光

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