成果介紹

由于玻璃、藍寶石等硬脆材料卓越的物理性能和化學穩(wěn)定性等優(yōu)點被廣泛應(yīng)用于消費電子、電子儀器設(shè)備等，因此在過去幾十年對于硬脆材料的高精度和高質(zhì)量的新型加工方式也備受關(guān)注。

在眾多加工方式中，激光加工已經(jīng)被證明是一種高效、簡便的加工技術(shù)，其中激光加工又分為很多不同的加工方式，如激光全切、激光劃線、激光隱切以及激光誘導背面干法刻蝕等，通過對不同的激光加工方式進行介紹并分析其技術(shù)原理。

最后通過對這些激光加工技術(shù)的實際應(yīng)用進行介紹，并對未來激光應(yīng)用于硬脆材料的前景進行展望。

廣東工業(yè)大學機電工程學院激光微納加工謝小柱團隊對激光于硬脆材料的加工進行綜述，首先對硬脆材料在生活中的實際應(yīng)用進行分析，討論了硬脆材料的不同加工技術(shù)，隨后介紹了不同激光加工技術(shù)和原理，最后介紹了這些技術(shù)的實際應(yīng)用，并對激光加工硬脆材料的未來發(fā)展進行展望分析。相關(guān)工作以題為 “Laser machining of transparent brittle materials: from machining strategies to applications”發(fā)表在英文期刊Opto-Electronic Advances 2019年第1期。

本綜述首先通過對硬脆材料由于其優(yōu)越的物理性能化學穩(wěn)定性等優(yōu)點在電子消費、光電儀器設(shè)備等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用介紹，闡述了硬脆材料在生活中的重要地位。

隨后介紹了不同加工硬脆材料的方法，如傳統(tǒng)機械加工和化學刻蝕等加工方法的缺點，引入了激光加工這一高效便捷的加工技術(shù)，介紹了激光加工技術(shù)中不同的加工方法的原理，如激光劃線、激光隱切、激光全切等。

最后介紹激光加工技術(shù)的實際工業(yè)應(yīng)用，并對未來激光加工技術(shù)和硬脆材料的發(fā)展進行了展望。

圖片解讀

圖1. 不同激光加工技術(shù)原理介紹

圖2. 激光誘導背向濕法刻蝕技術(shù)

圖3. 激光背向濕法刻蝕技術(shù)不同工藝參數(shù)下機理分析

圖4. 激光微結(jié)構(gòu)加工和實際切割成形樣品

論文原文：Xie X, Zhou C, Wei X, et al. Laser machining of transparent brittle materials: from machining strategies to applications[J]. Opto-Electronic Advances, 2019, 2(1): 180017-1-180017-13.

論文鏈接： doi: 10.29026/oea.2019.180017

轉(zhuǎn)自：廣工激光實驗室

第一作者：謝小柱

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